商品介绍

首页 商品介绍 > 机台 > Load Port Purge

Load Port Purge

Load Port Purge

微污染防治系统(N2 or XCDA)

A. 防止交叉污染和表面氧化

                                            

B. 在FOUP中通过Load Port吹净功能控制wafer表面清洁                                            

C. 能够保持FOUP内的低湿度和低微尘粒子                                            

方案:                                            

A. 设备的设计和制造(包括订制和现场改造)的形式:独立式、储存式、集成式(超过25种Load Port类型可用)                                            

B. 一个吹净系统控制箱可以控制多个Load Port                                            

C. 通过流量计和湿度监测传感器监测吹净气体流量