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焊接式welded/成型式formed-高真空波纹管bellow

焊接式welded/成型式formed-高真空波纹管bellow

•天虹科技自2002 年起,长年与焊接式高真空蛇腹管(welded Bellows) 世界第一品牌BLF制造商合作, 提供大量且可靠的焊接式金属蛇腹管应用於半导体制造业, BLF的蛇腹管用於航太、医疗、及科技等业,现在更大量运用在半导体的制造机台内,如晶圆加热器与真空阀门组件。BLF焊接式金属蛇腹管提供相当高的伸缩弹性,在完美的焊接下能保持良好的真空的环境,对需要保持一定真空环境的活动式生产机台,提供了最佳的保障。此外,BLF焊接式金属蛇腹管使用各种特殊合金制成,可在各种严酷、恶劣环境下使用,例如:腐蚀性气体、高活性电浆、化学气象沉积、物理气象沉积、高温制程、离子植入等不同半导体制成反应室内。

                                            

•应用於半导体蚀刻(ETCH)/化学气象沉积(CVD)/物理气象沉积(PVD)/ 快速高温制程(RTP)/离子植入(Imp) 等机台。