商品介绍

首页 商品介绍 > 零件 > High Density and purity ceramic products精密陶瓷

High Density and purity ceramic products精密陶瓷

High Density and purity ceramic products精密陶瓷

•天虹科技提供给半导体客户6/8/12寸设备使用之陶瓷制品, 并提供客制化设计及制作(Customized )。

                                            

•产品包含高纯度氧化铝(AlO3)/ 氮化铝(ALN)/氮化矽(Si3N4) /氧化锆(ZrO2) 设计及 制作.陶瓷素材由日本进口, 在台湾做 加工制造,提供客户最快速及高性价比的产品。                                             

•广泛提供服务给台湾/新加坡/马来西亚/中国大陆/美国/欧洲半导体客户群。                                            

•产品包含:Robot blade/life pin hoop/collar ring/cover ring/focus ring /shadow ring/carrier ring/lift pin/insulator ring...etc                                            

•应用於半导体蚀刻(ETCH)/化学气象沉积(CVD)/物理气象沉积(PVD) /快速高温制程(RTP)/离子植入(Imp) 等机台设备。