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Load Port Purge

Load Port Purge

微污染防治系統(N2 or XCDA)

A. 防止交叉污染和表面氧化

                                            

B. 在FOUP中通過Load Port吹淨功能控制wafer表面清潔                                            

C. 能夠保持FOUP內的低濕度和低微塵粒子                                            

方案:                                            

A. 設備的設計和製造(包括訂制和現場改造)的形式:獨立式、儲存式、集成式(超過25種Load Port類型可用)                                            

B. 一個吹淨系統控制箱可以控制多個Load Port                                            

C. 通過流量計和濕度監測傳感器監測吹淨氣體流量