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焊接式welded/成型式formed-高真空波紋管bellow

焊接式welded/成型式formed-高真空波紋管bellow

•天虹科技自2002 年起,長年與焊接式高真空蛇腹管(welded Bellows) 世界第一品牌BLF製造商合作, 提供大量且可靠的焊接式金屬蛇腹管應用於半導體製造業, BLF的蛇腹管用於航太、醫療、及科技等業,現在更大量運用在半導體的製造機台內,如晶圓加熱器與真空閥門組件。BLF焊接式金屬蛇腹管提供相當高的伸縮彈性,在完美的焊接下能保持良好的真空的環境,對需要保持一定真空環境的活動式生產機台,提供了最佳的保障。此外,BLF焊接式金屬蛇腹管使用各種特殊合金製成,可在各種嚴酷、惡劣環境下使用,例如:腐蝕性氣體、高活性電漿、化學氣象沉積、物理氣象沉積、高溫製程、離子植入等不同半導體製成反應室內。

                                            

•應用於半導體蝕刻(ETCH)/化學氣象沉積(CVD)/物理氣象沉積(PVD)/ 快速高溫製程(RTP)/離子植入(Imp) 等機台。