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High Density and purity ceramic products精密陶瓷

High Density and purity ceramic products精密陶瓷

•天虹科技提供給半導體客戶6/8/12吋設備使用之陶瓷製品, 並提供客製化設計及製作(Customized )。

                                            

•產品包含高純度氧化鋁(AlO3)/ 氮化鋁(ALN)/氮化矽(Si3N4) /氧化鋯(ZrO2) 設計及 製作.陶瓷素材由日本進口, 在台灣做 加工製造,提供客戶最快速及高性價比的產品。                                             

•廣泛提供服務給台灣/新加坡/馬來西亞/中國大陸/美國/歐洲半導體客戶群。                                            

•產品包含:Robot blade/life pin hoop/collar ring/cover ring/focus ring /shadow ring/carrier ring/lift pin/insulator ring...etc                                            

•應用於半導體蝕刻(ETCH)/化學氣象沉積(CVD)/物理氣象沉積(PVD) /快速高溫製程(RTP)/離子植入(Imp) 等機台設備。